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品牌 |
其他品牌 |
产地类别 |
进口 |
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应用领域 |
化工 |
外形尺寸 |
W560?x?D600?x?H860mm |
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电源 |
AC230?V?/?16?A |
真空泵 |
排气速度不小于4m3/H,?极限真空度小于10Pa |
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工艺气路 |
单路，双路，三路 |
工艺气体 |
O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1 |
diener真空等离子清洗机/低压等离子系统，适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层
德国Diener electronic成立于1993年，是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气（常压）等离子清洗机的高科技企业。
diener真空等离子清洗机用途：
·适用6寸以下样品的处理
·用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式，实现控制高机能
·桌上型，省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用
特点：
表面清洗活化
表面蚀刻
可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序；不会对操作人员的身体造成任何伤害；其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
更多信息：diener真空等离子清洗机
http://www.edi-sh.com/Products-36094458.html
https://www.chem17.com/st272336/product_36094458.html